マウンターHIT-MS250P｜卓上型ウェハ貼付装置
マウンターHIT-MS250Pの製品概要
薄基板をセラミックや石英などの支持基板（貼り付け板）にワックス接着させるための卓上タイプの貼付装置です。
貼り合わせ時に真空脱泡を行い貼り合わせ圧力は上蓋部の空気圧送によるダイヤフラム方式（エアバック）で貼り付けを行います。
冷却は間接水冷却にて昇降温時間のコントロールが可能です。
マウンターHIT-MS250P主要仕様
| モデル名 | HIT-MS250P |
|---|---|
| 対象支持基板 | Ø160mm×t15mm |
| プレート温度設定範囲 | 常温～180℃ |
| 対象ワーク | 最大Ø150mm |
| 貼付方法/剥離方法 | 1軸、ワーク真空吸着 |
| 加圧 | エアー加圧 （ダイヤフラムエアバック方式） |
| 真空方法 | バキュームポンプ（外置き） |
| 冷却方法 | 冷却水（間接水冷） |
| 操作パネル | - |
| 制御方式 | シーケンサー制御および温度調節ブロック |
| 本体寸法 | W640xD460xH580(800)mm |
| 本体重量 | 約50kg |
| その他 | - |
※本仕様は、改良のためお断りなく変更させていただくことがあります。発注の際には、確認くださいますようお願いいたします。
マウンターHIT-MS250Pに付加可能なオプション
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